操作機理 

覆蓋層單位 面積質量(若密度已知，則為覆蓋層線性厚度)和二次輻射強度之間存在一定的關系。  對于任何實際的儀器系統，該關系首先由已知單位面積質量的攫蓋層校正標準塊校正確定。若筱蓋層  材料的密度已知，同時又給出實際的密度，則這樣的標準塊就能給出覆蓋層線性厚度。  （注:筱蓋層材料密度是攫蓋狀態的密度，不一定是側妞時的彼蓋層材料的理論密度。如果該密 度與校正標準的密  度不同，應當采用、一個反映這種差別的系數并在測試報告中加以評注）. 

熒光強度是元素原子序數的函數，如果表面覆蓋層、中間覆蓋層( 如果存在)以及基體是由不同元素  組成或一個覆蓋層由不止一個元素組成，則這些元素會產生各自的輻射特征.可調節適當的檢測器系  統以選擇一個或多個能帶，使此設備既能測量表面覆蓋層又能同時測量表面覆蓋層和一些中間覆蓋層  的厚度 和組成 . 

激發 

x射線光譜方法測定覆蓋層厚度是基于一束強烈而狹窄的多色或單色 x射線與基體和覆蓋層的相互作用。此相互作用產生離散波長和能量的二次輻射.這些二次輻射具有構成蓋層和基體的元素特征。 

高 壓 x射線管發生器或適當的放射性同位素可產生這樣的輻射。

1.由高壓 x射線管產生 

穩定條件下如果對 x射線 管外加足夠的電位，則能產生適當的激發輻射。大多數厚度測量要求的  外加電壓約為 25kV-50kV，但為了測量低原子序數覆蓋層材料，可能有必要將電壓降至 10kV。由于應用了安裝在 x射線管和試樣之間的基色濾色器，降低了測量的不確定度。 

該激發方法的主要優點為: 

一  通過準直，能在很小的 測量面上產生一束極強的輻射束; 

—  人身安全要求容易保證 ;

—  通過現代電子學方法可獲 得足夠穩定的發射。 

2.由放射性同位素產生 

只有幾種放射性同位素發 射的 I射線在能量帶上適合覆蓋層厚度測量。理想的是，激發輻射的能  量比要求的特征 x射線能量稍高(波長稍短)，放射性同位素激發的優點在于儀器結構更緊湊，這主要 GB/T16921-2005ASO3497:2000  是因為無需冷卻。此外，與高壓 x射線管發生器不同，其輻射是單色的而且本底強度低。 

與 x射線管方法相比，其主要技術缺點是:

—    所得強度低得多，不能進行小面積測量 ;

—   一 些放射性同位素半衰期短;  高強度放射性同位素帶來人員 防護問題(高壓 x射線管可簡單關閉)。